1、不氧化、不脱碳、不增碳对工件内部和外表有良好的的保护效果。氧化使金属外表失去光泽，外表粗糙度添加，精度下降，而且钢外表氧化皮往往是形成淬火软点和淬火开裂的本源，氧化使钢件强度下降，其他力学功能下降。而脱碳是指钢在加热时外表碳含量下降的现象。一般情况下，钢的氧化脱碳一起进行，脱碳层因为被氧化，碳含量下降会显着下降钢的淬火硬度、耐磨性、及疲惫功能，高速钢脱碳会下降红硬性。而真空热处理因为金属是在一定的真空度下加热，工件避免了与氧气触摸，工件没有氧化，无脱碳，可以得到光亮的外表及较好的热处理质量，一起在真空状态下，也不会产生还原反应，也就不会产生增碳的现象。
2、工件变形小。一般来说，被处理的工件在炉内靠热辐射加热，内外温差较小，热应力小，因而决议了真空热处理工艺处理的零件变形小，一起在真空下加热和在真空下淬火，自动完成，避免了热态下工件在空气中的转移，减少了人为加工变形，进步了产品合格率。
3、真空热处理炉热效率高，可实现快速升温文降温，稳定性和重复性好。工作环境好，操作安全，没有污染和公害。
